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電阻率量測(cè)儀
WRS系列為非接觸式電阻率量測(cè)設(shè)備，適配多種晶圓尺寸，有多種量測(cè)功能。自動(dòng)讀取Wafer ID，采用非接觸高精度渦電流傳感器測(cè)量體積電阻率，識(shí)別PN Type。
各種尺寸晶圓量測(cè)
自動(dòng)量測(cè)
Excel、CSV報(bào)表輸出
讀取Wafer ID
測(cè)量體積電阻率
識(shí)別PN Type
設(shè)備規(guī)格
**設(shè)備規(guī)格可配合客戶(hù)需求訂制，歡迎來(lái)電洽詢(xún)。**
專(zhuān)門(mén)應(yīng)用
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