晶圓缺陷檢查機

本設備使用線掃相機搭配檢測平臺的移動，實現(xiàn)Wafer兩面的外觀及端面檢查，是一臺非常適合在晶圓原材、再生后監(jiān)控Wafer品質的多功能檢測設備。該設備可以自動識別fosb上的條形碼、智能讀取Wafer ID，進行Wafer邊緣檢測和表面瑕疵檢測，支持整個晶圓制造過程中的質量保證。